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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2～10.0)mm/h内无级调节，它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。
加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳，光洁淬火，碳氮共渗等热工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中。用作退火之用周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式）这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，
中频炉成套设备：长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。
冶炼设备：长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。
铸造设备：长期各类高频炉，氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。
由于断路器发生因负载故障而自由脱扣的机率不太多，因而报触头的寿命是断路器寿命的1/10。报触头的工作电流一般不会超过1A。分励脱扣器：分励脱扣器是一种用电压源激励的脱扣器，它的电压与主电路电压无关。分励脱扣器是一种远距离操纵分闸的附件。当电源电压等于额定控制电源电压的70%-110%之间的任一电压时，能可靠性的分断断路器。分励脱扣器是短时工作制，线圈通电时间一般不能超过1S，否则线会被烧毁。塑壳断路器为防止线圈烧毁，在分励脱扣线圈串联一个微动关，当分励脱扣器通过衔铁吸合，微动关从常闭状态转换成常，由于分励脱扣器电源的控制线路被切断，即使人为的按住按钮，分励线圈始终不会再通电这避免了线圈烧损情况的产生。5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7，根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa。
